微机械压力传感器原理和技术
作者: 张培玉,李妍
出版社: 郑州大学出版社
出版日期: 2017.12
ISBN-13: 9787564550424
ISBN-10: 7564550422
页数: 无
原书定价: 36.00
开本: 无
丛书名: 无
主题词: 机械·压力传感器
中图分类号: TP212.1
中图分类名: 工业技术›自动化技术、计算机技术›自动化技术及设备›自动化元件、部件›发送器（变换器）、传感器›物理传感器
本书详细介绍了微机械压力传感器的研究发展历史、力学基础、常用材料及相关的微机械加工技术，并重点介绍了微机械压阻传感器、微机械电容传感器、微机械压电传感器、光学传感器及其应用，以及微机械压力传感器的关键技术-封装技术等。可供相关的科研人员和工…目录仅对会员开放。