水平层流洁净室测定报告

作者: 北京市西城区半导体材料厂

出版社: 第四机械工业部第十一设计院

出版日期: 1975.10

ISBN: 无

页数: 32

原书定价: 无

开本: 无

丛书名: 无

主题词: 无

中图分类号: TN09

中图分类名: 工业技术›无线电电子学、电信技术›一般性问题